上海千实精密机电科技有限公司：由中国材料与试验标准化委员会基础与共性技术标准化领域委员会归口承担的《椭偏仪性能测试》(标准立项编号CSTM LX 0000 00293—2019)团体标准已完成征求意见稿。按照《中国材料与试验团体标准制修订管理细则》的有关要求，现公开征求意见。

　　椭偏仪是测量微纳米尺度薄膜厚度的主要方法之一，具有测量精度高、非接触、无破坏且不需要真空等优点，已被广泛应用于半导体、微电子、光电子、材料、物理、化学、生物、医药等领域的研究、开发和制造过程中。膜厚的准确测量，对器件制造的一致性和可靠性起着决定性作用。

　　因此，规范椭偏仪的性能测试，对保证仪器性能可靠和薄膜厚度准确测量的意义重大。该标准规定了椭偏仪的性能测试方法，通过制定该标准，将统一椭偏仪的性能测试过程，对科学研究、高新产业产品研发、质量监控具有指导作用，并推动和促进椭偏仪的推广和应用。

　　本文件参照GB/T 1.1-2020 《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》给出的规则起草。参考JJF 1059.1-2012 测量不确定度评定与表示；GB/T 31225-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法；ISO 23131:2021 Ellipsometry — Principles；IEC TR 63258:2021 Nanotechnologies — A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films等规程内容编制。

　　本文件规定了椭偏仪的性能测试项目和方法等。本文件适用于激光椭偏仪和光谱椭偏仪的性能测试。

　　方法原理：

　　椭偏仪是利用椭圆偏振光在被测样品表面发生反射时的偏振变换，通过菲涅尔公式得到光学参数和偏振态之间的关系来确定被测样品厚度和折射率。

　　外观：

　　仪器上应标有名称、型号、出厂编号、生产厂家等仪器信息；仪器所有连接件应连接良好，各调节旋钮、按键和开关均能正常工作。

　　测试条件：

　　环境温度为(20~25)℃，使用温度波动范围不超过±2℃。相对湿度≤60%。

　　仪器状态调整：

　　仪器状态调整包括光路的准直和色散元件两部分。光路的准直性是光学仪器的最基本要求，如果一束光从入射到出射都没有偏移，则认为光路准直；色散元件的调整则是基于仪器的组成和测量原理进行的。不同厂家仪器的调整方法不同，参照仪器说明书进行。仪器调整后是否处于最佳状态，以及测量结果是否准确，需要标准物质进一步测试来检验。

　　标准物质选择：

　　选择覆盖待测样品厚度范围的3种或3种以上不同厚度的膜厚国家有证标准物质，并尽可能均匀分布。标准物质编号及量值范围参照但不限于附录 A。

　　报告：

　　报告包含但不限于以下信息：1)委托方信息，包括名称、地址；2)测试仪器信息，包括生产厂家、型号、编号；3)测试依据文件的编号；4)测试日期，及测试人员；5)选用的标准物质及其相关信息；6)测试条件，包括光谱范围、入射角度、步长、积分时间(对于光谱椭偏仪)；光源波长、入射角度(对于激光椭偏仪)；7)膜厚测量示值误差结果；8)膜厚测量重复性结果。

　　测试报告格式参见附录 C。

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